昆明凈化對無塵車間控制溫濕度的重要性
來源：http://www.egochip.com/news414759.html 發(fā)布時間：2019-4-18 0:00:00
無塵車間溫濕度主要是根據(jù)生產(chǎn)工藝要求來確定的，在滿足生產(chǎn)工藝的條件下，首選應該考慮人的舒適感。隨著空氣潔凈度要求的提高，工藝對溫濕度的要求也越來越高，必須達到一定的溫濕度要求。如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，溫度上升，就可能引起線性膨脹，同時要求濕度值一般較低。
對于大部分潔凈空間，為了防止外界污染侵入，需要保持內部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。壓力差的維持一般應符合以下原則：
1、潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。
2、相通昆明凈化潔凈室之間的門要開向潔凈度級別高的房間。
3、昆明凈化潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。
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